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解決方案與產品應用
半導體行業VOC氣體制程管控
更新時間:2022-12-29 16:38:08
下載資料應用介紹
半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重,如不加以控制,將會產生較大的環境污染。半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣。半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點,以揮發為主。
半導體行業VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表面進行清洗,其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一;同時,在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發的有機溶劑,如醋酸丁酯等,在晶片處理過程中也要揮發到大氣中,是有機廢氣產生的又一來源。
半導體生產制程包含精密的微機電和集成電路,對于生產環境之潔凈度的要求特別嚴格,因此整個制造過程都必須在嚴格控制的環境條件下進行。 隨著制程特征尺寸(feature size)快速縮小,潔凈室環境空氣質量的要求也更為嚴苛。對于半導體制程VOC的監測以下幾個環節:全廠環境監測;濾網效能檢測;制程中晶圓搬運盒潔凈度檢測;廠內主要氣質檢測;制程污染鑒定等。
在這里,深圳新世聯科技有限公司給大家推薦一款VOC氣體傳感器PID-AH5, PID-AH5傳感器的英國Alphasense公司研發的光離子化傳感器專門用于檢測VOCs氣體的傳感器,該傳感器是一款簡單的即插即用式傳感器,能在多種不同應用中對數千種揮發性有機物(VOCS)提供動態且可靠的響應。該傳感器專為擴散式和在線式泵吸式設計,提供出色的響應時間和清除率,采用特殊亮度和穩定性的燈泡,能夠在較長時間內可靠地檢測揮發性弱和不易檢測的化合物。
PID-AH5傳感器的主要性能如下:
線性范圍:1ppb-40ppm(異丁烯)
T90響應時間:2s
典型靈敏度:50mV/ppm
燈泡能量:10.6ev
功耗:80mW-200mW(取決于供電電壓)
供電電壓:3.2-5.5VDC
輸出信號:0.040-2.85V