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1.什么是臭氧和臭氧的危害。

臭氧是地球大氣中一種微量氣體，它是由于大氣中氧分子受太陽輻射分解成氧原子后，氧原子又與周圍的氧分子結合而形成的，含有3個氧原子。大氣中90%以上的臭氧存在于大氣層的上部或平流層，離地面有10～50千米，這才是需要人類保護的大氣臭氧層派薯氏。還有少部分的臭氧分子徘徊在近地面，仍能對阻擋紫外線有一定作用。

當臭氧達到一定濃度時，可使人呼吸加速、胸悶，如果濃度進一步提高，可引起脈搏加速、疲倦、頭痛塵散，在這樣的環境中停留1小時，會發生肺氣腫，甚至死亡。長期呆在臭氧污染嚴重的環境中，對皮膚健康也可能有損傷，還可能增加致癌危險。臭氧污染還會對環境造成損害。比如，會導致植物葉片壞死、脫落，危害生態環境，造成農作物減產等。

2.臭氧在半導體工業中的應用

在過去的幾年中，臭氧在半導體工業的應用越來越受到重視，特別是在晶圓清洗過程。

在半導體行業，清潔度是一個絕對的要求。即使是很小的污染物痕跡也會導致晶圓表面區域結構的改變。自80年代末以來，在芯片生產中采用臭氧的清潔工藝已經被使用。隨著修改和新方法的開發，人們的興趣繼續增長。每個晶圓處理步驟都是潛在的污染源，每個步驟都有其特定類型的污染物。這意味著一個有效的清洗過程包括幾個清洗步驟，以去除晶體上的所有污染物。同時“絕對清潔”的行業要求擴展到設備（臭氧發生器，接觸到的設備），這意味著不會產生顆粒，沒有金屬，離子或有機污染物。所以在半導體行業中會或多或少的有臭氧氣體的揮發到空氣中。

3.  怎么對進行臭氧氣體監測

在此，深圳新世聯科技有限公司推薦一款臭氧傳感器OC-B431，該傳感器具有響應速度快、抗干擾、分辨率高、線性度好、靈敏度高等特點。傳感器是四電極電化學傳感器，不同于常規三電極電化學傳感器，OX-B431多了一個輔助極，用于補償零點電流，使傳感器具有更穩定的零點。下面是OX-B431的部分參數：

量程：0-20ppm

分辨率：15ppb

靈敏度：-225~-75nA/ppm

過載：50ppm

尺寸：φ32.3X16.5