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有關MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01資料

MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01 - 點擊查看大圖
MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01
產品型號:

AFE-01

產品品牌:

英國SST

所屬分類:

氣體質量流量傳感器

MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01詳細介紹:

名稱:MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01

品牌:SST

AFE-01由四個鉑金薄膜電阻構成。阻抗低,加熱區面積小。加熱器左右兩邊各一個高阻抗電阻,用來檢測流速和流向。還有一個電阻用來檢測氣體的溫度。靠近加熱元件的兩個電阻連接成一個電橋。產生檢測流速和流向功能的一個輸出信號。沒有流量的情況下,這兩個電阻達到同樣的加熱狀態。當有流量存在時,其中一個電阻的溫度比另一個低很多,具體哪個電阻溫度變低由流向決定。溫度差可以測量得到,由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時間和響應時間非常短,因為它的熱質量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動速度,溫度傳感器可以與恒溫風速儀相連接。

優勢

1、流向檢測

2、檢測小質量物體的流動

3、簡單的信號處理電路和標定

4、完全固定的機械元件

5、優異的重復性

6、優異的長期穩定性

7、適用于多種行業或安裝到不同外殼

8、優異的性價比

應用

1差壓傳感器

2HVAC和樓宇控制方案

3、醫療設備

4、汽車行業

5、設備檢測

技術指標

測量原理:熱量原理

檢測量程:0 ... 50 m/s (以CTA模式的電路為例)

靈敏度:0.001 m/s

 度:< 2%測量值(取決于電路和標定)

響應時間:T63% < 0.5 S

溫度范圍:-20…… +150 °C

電氣連接:絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)

加熱元件:RH (25°C) = 34 ± 10%

檢測元件:Rs_i (25°C) = 425  ± 10%

參考元件:RR (25°C) = 710  ± 10%

供電電壓:一般為 …… 5 V(取決于氣體流速)

基片材料:低熱導陶瓷

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MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01

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